Precīzijas piecu asu CNC pusvadītāju vakuuma kameras specifikācijas

Monobloku frēzēšanas iespējas pusvadītāju vakuuma kamerām

Strukturālo metinājumu likvidēšana, lai panāktu hēlija{0}}blīves un izcilu mehānisko integritāti procesa kamerās.

Xiamen Dazao Machinery ražo monobloku5 asu CNC apstrādātas pusvadītāju vakuuma kamerasparedzēts augsta vakuuma (HV) un īpaši{0}}augsta vakuuma (UHV) sistēmām. Izmantojot vairāku -asu virpošanas un 5 asu vienlaicīgus CNC frēzēšanas centrus, cietie nerūsējošā tērauda 304, 316L un Al6061-T6 sagataves tiek pārveidotas precīzos vakuuma korpusos bez konstrukcijas šuvēm.

Mūsu ražošanas iespējas atbalsta kastes -formas PVD nogulsnēšanas kameras, plazmas kodināšanas kameras, vafeļu slodzes bloķēšanas moduļus un sfēriskus UHV reakcijas traukus. Novēršot iekšējo porainību, materiāla tukšumus un karstuma -ietekmēto zonu metināšanas defektus, mūsu5 ass CNC apstrādes pusvadītāju vakuuma kameraŠis process nodrošina stabilas blīvēšanas robežas, nepārtrauktus iekšējos dzesēšanas kanālus un bez deformācijas{0}}atloku virsmas globālajiem instrumentu ražotājiem.

Lauka kļūmju analīze un inženiertehniskās koriģējošās darbības

Reālas-pasaules inženierijas pamatcēloņu pārskati par pusvadītāju iekārtu lauka instalācijām.

1: PVD nogulsnēšanas kameras atloka mikro-noplūdes novēršana

· Galvenais cēlonis:Kādam Eiropas plānās -plēves aprīkojuma klientam hēlija noplūdes testēšanas laikā tika konstatēts 30 % atteices līmenis kārbas -formas nerūsējošā tērauda PVD kamerām, kuras apstrādājis mantotais pārdevējs. Atteices analīze atklāja mikroskopiskas padeves pēdas un atloka plakanuma novirzi, kas pārsniedz 0,05 mm visā blīvējuma virsmā.

· Inženiertehniskā darbība:Mēs ieviesām spoguļfrēzēšanu, izmantojot specializētu{0}}virsmas frēzēšanas ģeometriju, kam sekoja precīza roku pārklāšana. Virsmas līdzenums tika samazināts līdz 0,02 mm/m vai vienāds ar to, un raupjums tika samazināts līdz Ra 0,4 µm. Katruprecīzi apstrādātas nerūsējošā tērauda detaļaspalaišanai tagad pirms nosūtīšanas tiek veikta 100% hēlija masas spektrometra pārbaude, palielinot montāžas pieņemšanas līmeni līdz 100%.

2: Izplūdes samazināšana sfēriskos UHV reakcijas traukos

· Galvenais cēlonis:Pētniecības institūts ziņoja, ka bāzes spiediens apstājas pie 10^-7 Pa sfēriskā UHV kamerā ar cf atlokiem, kas izgatavoti no standarta SS304. Augsts izplūdes ātrums no iekšējās virsmas piesārņojuma un notvertā mitruma neļāva sūknēt līdz vajadzīgajam 10^-9 Pa līmenim.

· Inženiertehniskā darbība:Mēs mainījām materiāla specifikāciju uz zema-oglekļa SS316L, integrējām 900 grādu vakuuma atkausēšanas degazēšanas ciklu un ieviesām iekšējo elektropulēšanu, lai samazinātu virsmas raupjumu līdz Ra Mazākam vai vienādam ar 0,2 µm. Pēc tīras telpas ultraskaņas mazgāšanas un cepšanas vakuumā maksimālais vakuums sasniedza 10^-9 Pa specifikācijā.

3: Slodzes bloķēšanas kameras atloka deformācija zem spiediena

· Galvenais cēlonis:Vafeļu iekārtu ražotājs konstatēja pakāpenisku vakuuma zudumu pusvadītāju slodzes bloķēšanas kameras konstrukcijā pēc sešu mēnešu darbības. Ātra ventilācijas -uz -vakuuma spiediena cikliskums atbrīvoja atlikušo apstrādes spriegumu, deformējot galveno blīvējuma durvju atloku par 0,03 mm.

· Inženiertehniskā darbība:Mēs ieviesām divu{0}}pakāpju spriedzes samazināšanas procesu: neapstrādāta frēzēšana → termiskā atkausēšana → pus-apdare → sekundārā termiskā stabilizācija → 5-asu apdares frēzēšana ar instrumenta-ceļa mikro-kompensāciju. Pēc modifikācijas slodzes slēdzenes durvīm pēc 10 000 spiediena cikliem bija deformācija, kas bija mazāka par 0,01 mm vai vienāda ar to.

Tehniskie diferenciāļi ultra{0}}augsta vakuuma ražošanai

Standartizētas metalurģijas un testēšanas darbplūsmas, kas atdala pusvadītāju{0}}klases kameras no komerciāliem mašīnu veikaliem.

1. Novērtēts vakuuma blīvējums un 100% hēlija noplūdes apstiprināšana:

· Augsta vakuuma (HV) standarts:Hēlija noplūdes ātrums Mazāks vai vienāds ar 1×10^-10 Pa·m³/s. Optimizēts PVD sistēmām, slodzes slēdzenēm un pārsūtīšanas moduļiem.

· Ultra{0}}augsta vakuuma (UHV) standarts:Hēlija noplūdes ātrums Mazāks vai vienāds ar 1×10^-12 Pa·m³/s. Izstrādāts plazmas kodināšanas un virsmas analīzes sistēmām.

2. UHV materiāla izplūdes kontroles protokols:

· Materiālu partijas izsekojamība ar zema tvaika spiediena sakausējuma izvēli (SS316L, Al6061-T6).

· Augsta -vakuuma termiskā gāzu apstrāde noņem absorbēto ūdeņradi no iekšējām metāla režģiem.

· Elektropulēšana samazina mikro{0}}porainību un virsmas absorbcijas virsmu.

3. Cikliskās slodzes stresa stabilizācija:

· Divpakāpju termiskā atkausēšana{0}} novērš atlikušos apstrādes spriegumus.

· Instrumentu ceļa kompensācija novērš konstrukcijas novirzi atmosfēras spiediena slodžu ietekmē.

Veiktspējas salīdzinājums: monobloku 5 asu frēzēšana un metinātie mezgli

Vakuuma integritātes, precizitātes un ilgtermiņa darbības izmaksu kvantitatīvs novērtējums.

Lietojumprogrammām, kurām nepieciešama optimizēta siltuma vadība vai aizsardzība pret korozijas barjeru, mūsu pēc-apstrādes iespējas ietver sertificētucietā pārklājuma anodēšana un elektropulēšanaopcijas, kas atbilst instrumentu ražotāja standartiem.

Tehnisko specifikāciju tabula

Stingras pielaides, virsmas apdare un pārbaudes standarti vakuuma kamerām.

Kvalitātes nodrošināšanas un pārbaudes standarti

Pārbaudes protokoli, kas nodrošina tiešu integrāciju pusvadītāju ražošanas līnijās.

Mūsu ražošanas darbības notiek saskaņā ar ISO 9001:2015 sertificētu kvalitātes vadības sistēmu. Pārbaudes protokoli aptver katru kameras ražošanas posmu:

· Materiāla pārbaude:Ienākošās materiālu partijas tiek ķīmiski pārbaudītas, izmantojot optiskās emisijas spektroskopiju (OES). Ultraskaņas pārbaudes pārbauda nulles iekšējo tukšumu veidošanos biezās ekstrūzijās.

· Pirmā izstrādājuma pārbaude (FAI):FAI dimensiju pārskati tiek ģenerēti, izmantojot Zeiss CMM aprīkojumu, pirms tiek izlaistas pilnas sērijveida ražošanas darbības.

· Procesa precizitātes pārbaudes-:Frēzēšanas laikā tiek pārbaudīti kritiskie blīvējuma izmēri, O-gredzena rievas ģeometrija un ConFlat (CF) naža-malu profili.

· 100% hēlija noplūdes pārbaude:Katrai kastes formas augsta vakuuma kamerai tiek veikta noplūdes pārbaude, izmantojot Pfeiffer hēlija masas spektrometra noplūdes detektorus, kas darbojas vakuuma režīmā.

· Tīras telpas iepakojums:Detaļas tiek tīrītas ar ultraskaņu, izmantojot dejonizētu ūdeni, vakuuma izsmidzināšanas gāzi, dubultu polietilēna iepakošanu tīrā telpā un aizsargājošu kasti.

Materiālu un ģeometrijas atlases matrica

Materiālu īpašību un strukturālo formu saskaņošana, lai apstrādātu gāzes vidi un vakuuma diapazonus.

· Nerūsējošais tērauds 304/316L:Selected for operating bakeout temperatures >200 grādu, reaktīvā procesa ķīmija un maksimālā vakuuma prasības zem 10^-7 Pa. SS316L ir paredzēts hlora un fluora plazmas kodināšanas procesiem.

· Alumīnijs 6061-T6:Lieto vietās, kur nepieciešama siltuma izkliede, samazināts svars robotizētajiem vafeļu apstrādātājiem un ātri sūknēšanas{0}}cikli. Alumīnija oksīda virsmas pasivācija nodrošina efektīvu gāzu izvadīšanas barjeru.

· Kaste/taisnstūrveida korpusi:Nodrošina maksimālo iekšējo substrāta iekraušanas apjomu. Ieteicams pvd uzklāšanas sistēmu vakuumkameru konstrukcijām un automatizētiem pārsūtīšanas moduļiem.

· Sfēriski/cilindriski korpusi:Vienmērīgi sadala konstrukcijas spiediena spriegumus pie pilnas atmosfēras diferenciālās slodzes. Ideāli piemērots sfēriskai uhv kamerai ar cf atlokiem, kas darbojas zinātnes un virsmas analīzes jomās.

Mērķa lietojumprogrammu nozares

Apkalpo pasaules pusvadītāju oriģinālo iekārtu ražotājus, pārklājuma iekārtu būvētājus un zinātniskās pētniecības laboratorijas.

Pusvadītāju vafeļu apstrāde

Plazmas kodināšanas kameras pusvadītāju iekārtu, CVD korpusu un jonu staru moduļu ražošana.

PVD plānas{0}}plēves pārklājums

Monolītas kameras korpusi ar integrētiem mērķa atlokiem un iekšējo dzesēšanu izsmidzināšanas sistēmām.

UHV pētniecības laboratorijas

Pielāgotas UHV kameras, kas paredzētas sinhrotronu gaismas avotiem, virsmas fizikas un daļiņu paātrinājuma sistēmām.

Instrumentu apkope un atjaunošana

Atkārtota-apstrāde un precīza-pielāgošana nomaiņaiprecīzas CNC vakuuma kameras sastāvdaļasmantotajām vafeļu fab līnijām.

Saņemiet cenu pusvadītāju vakuuma kamerai

FAQ

 

 

01.Kā jūs atšķirat īstu vakuuma noplūdi un materiāla izplūdi testēšanas laikā?

Lai atšķirtu virtuālās noplūdes no patiesām noplūdēm, ir jāveic spiediena paaugstināšanās pārbaude un atlikušās gāzes analīze (RGA). Izplūdes gāzes (galvenokārt ūdens tvaiki) izraisa sūkņa lejupvērstās līknes izlīdzināšanos pie vidēja spiediena, bet spiediena pieaugums laika gaitā izlīdzinās, kad tas ir izolēts. Patiesa atmosfēras noplūde liecina par nepārtrauktu, lineāru spiediena pieaugumu. Mēs atrisinām izplūdi no gāzes, izmantojot vakuuma atlaidināšanu un elektropulēšanu, un apstiprinām patieso nulles noplūdes statusu, izmantojot hēlija masas spektrometriju.

02.Kāpēc pusvadītāju vakuuma kamerām izvēlēties alumīniju 6061-T6, nevis nerūsējošo tēraudu?

Kā uzsvērts inženierzinātņu diskusijās, alumīnijam ir 3 reizes mazāks blīvums, izcila siltumvadītspēja un ātrāka izcepšanās atgūšana nekā nerūsējošais tērauds. Alumīnijs dabiski veido virsmas alumīnija oksīda barjeru, kam ir ārkārtīgi zema ūdeņraža caurlaidība, samazinot izplūdes gāzes augsta vakuuma režīmos, vienlaikus samazinot instrumenta svaru un apstrādes izmaksas.

03. Kā novērst ConFlat (CF) naža -malu atloku bojājumus un urbumus 5 asu apstrādes laikā?

CF naža-malu blīvējuma lūpām ir nepieciešami precīzi 90 grādu asi profili ar nulles pļāpāšanas zīmēm, lai tie varētu tīri iekost skābekli -nesaturošā vara blīvē. Mēs izmantojam īpašus pielāgotus profila griezējus, īpaši-smalkas apdares padeves un spoguļfrēzēšanas gājienus. Katrai naža malai tiek veikta 100% optiskā palielinājuma pārbaude, lai pārbaudītu, vai tajā nav mikro-izspiedumu vai malas apgāšanās.

04. Kāpēc vakuuma kamera var izturēt statisko CMM pārbaudi, bet neiztur hēlija noplūdes pārbaudi?

Statiskās koordinātu mērīšanas iekārtas (CMM) mēra makro-ģeometriju, bet nevar noteikt mikro-porainību, padeves-atzīmes nepārtrauktību pāri blīvējuma virsmām vai sub-mikronu virsmas pļāpāšanu. Hēlija atomi iekļūst mikro-rievās, kas paslīd garām CMM skārienzondēm. Mēs apvienojam spoguļa frēzēšanu ar 100% hēlija masas spektrometra testēšanu pilnā vakuuma evakuācijā.

05. Kas neļauj slodzes bloķēšanas kameras atlokiem deformēties biežas spiediena cikla laikā?

Vent{0}}to-vakuuma spiediena cikliskums rada ciklisku mehānisku nogurumu un atbloķē atlikušos spriegumus, kas palikuši no agresīvas smagas frēzēšanas. Mēs novēršam šo risku, ieviešot daudzpakāpju spriedzes mazināšanas atlaidināšanu starp neapstrādātu frēzēšanu, pus-apstrādi un pēdējo 5-ass precīzu apdari, nodrošinot ilgtermiņa ģeometrisko stabilitāti atmosfēras diferenciālo slodžu apstākļos.

06.Kā iekšējās virsmas raupjums (Ra) ietekmē vakuuma bāzes spiedienu?

Rupjākās virsmās ir mikroskopiskas virsotnes un ielejas, kas aiztur atmosfēras mitrumu un apstrādā gāzes, ievērojami palielinot izplūdes virsmas laukumu. Iekšējo kameras sienu elektropulēšana no Ra 0,8 µm līdz Ra 0,2 µm samazina efektīvo mikro-virsmas laukumu līdz pat 80%, paātrinot kameras sūkņa-darbības darbības laiku, lai sasniegtu maksimālo UHV spiedienu.

Pieprasiet DFM novērtējumu jūsu pusvadītāju kameras dizainam

Iesniedziet savus 2D inženiertehniskos rasējumus un 3D CAD failus (STEP, IGES, X_T) inženiertehniskajam novērtējumam.

Mūsu tehniskā komanda 24 stundu laikā sniedz detalizētas atsauksmes par ražojamību (DFM) un oficiālus komerciālus piedāvājumus.

Tiešais tehniskais e-pasts: Erica@dazaocn.com

Sazinieties ar mums

Populāri tagi: 5 asu CNC apstrādes pusvadītāju vakuuma kamera, īpaši augsta vakuuma kameras izgatavošana, pusvadītāju slodzes bloķēšanas kameras dizains, kastes formas augsta vakuuma kamera, sfēriska uhv kamera ar cf atlokiem